Vaakumkattemasina mitmekordse ketta võrdlusseadmete projekteerimisomadused

1) Fikseeritud silindri 3 silindrilise kuju, suure läbimõõdu ja õhukese seinaga struktuuri moodustamine ning aksiaalse sümmeetria määramismeetod võimaldavad tagada piisava tugevuse ja painde jäikuse ning samal ajal võib see vältida ka kõrge temperatuuriga magnetronide pritsimist, mis paikneb kulumisprooviga. Operatiivsete osade keskkond. ROT-i keskkond.
2) rõngakujulise istuva laagri kujundusskeem 2 tagab istelise laagri paigaldamise tihendus jõudluse ja vertikaalse nurga; Laiendab võlli 1 läbimõõdu spetsifikatsiooni, suurendab istumislaagri kahe veeremislaagri paigaldamise intervalli ja parandab omaenda tugevust ja painde jäikust, et tagada võlli painde jäikus 1 pärast kogu pöörlemisprotsessi, pöörleva ketta 15 pöörlemisoperatsiooni painduvust ja korduvate osade konsistentsi.
3) Vahetatava kudede kandmine vastavalt laiendatud tugiplaadi 16 läbimõõdule suurendatakse tasapinna vaatenurga kudede mõistlik kogupindala ja saab paigaldada suure läbimõõduga võrdlevat tükki (φ26,5mm), mis on kasulik silmuse reguleerimisele ja parandab optilise filmi kvaliteeti; Suhteline leht 12 on valmistatud lehttüüpi lamineeritud klaasist võrdleva lehe moodulina ja võrdlev leht võtab sisse siseruumis kolmemõõtmelise akumulatiivse paigaldusmeetodi. Filmi võrreldakse filmiga, mis lahendab probleemi, et topeltkihiline ülitäpse optilise kile on katteseadmega kaetud, ja kilede arv on suhteliselt väike, mis mõjutab pinnal olevate kattekihtide ja katte täpsust.
4) Tehke koostööd positsioneerimisplaadiga 6 ja pesa tüüpi optilise ühendaja 17, tundke positsioneerimisplaadil kolm keskmist 120 ° topeltpilu, vastavalt pesa-tüüpi optilisele sidurile ja kontrollige mootori pöörlemist peatumiseks. Võlli 1 pöörlemise täpse positsioneerimise järjepidevus tagatakse korduvalt ja pöörlevat ketast 15 lükatakse täpseks väljatõmbamishoiaks.
5) Pöördtihendi sisselülitusmehhanism tutvustab Wilsoni tihendusmehhanismi 5, mis mitte ainult tagab mootori 9 tundlikku pöörlemist võlli 1 juhtimiseks vastavalt käigulemendile, vaid tagab ka vaakumkambri tihendamise mõju välismaailmale. Optimeeritud vaakumkattemasin, millel on mitme rotaarsete plaatidega, on suhteliselt õhuke kilevarustus. Selle omadused on: (1) lihtne struktuur, kõrge survetugevus ja hea stabiilsus; Optiline kile; (3) Võrreldes kile läbimõõdu laienemisega, parandatakse plastist kilede järelevalve täpsust, riistvarasüsteemi nõudeid vähendatakse ja süsteemitarkvara on automaatse juhtimissüsteemi lõpuleviimiseks väga lihtne; (4) Hoolduskulud on madalad.
Vastavalt optimeerimiselevaakumkattemasinMitme rotaarne terade võrdlusseade, see tagab suhtelise tera struktuuri pöörlemise koordineerimise ja korduva järjepidevuse ning lahendab probleemi, et suhteline pindala on väike, silmuse reguleerimine on ebamugav ja optiline signaali sagedus on stabiilne. See lahendab halva laiuskraadi probleemi ja lahendab vähem lehtede koguarvu, mis võib veelgi parandada optiliste vaakumkattemasinaga kaetud optiliste kilede kvaliteeti ning rohkem kui 30 kihti optilisi kileid saab katta. Praktiline kogemus on tõestanud, et see võrdlev leht struktuur on efektiivne ning seda saab tänapäeval hästi turustada ja rakendada elektrooniliste optiliste vaakumkattemasinate valdkonnas.