Vaakumkatteseadmete rõhukontrolli põhimõte

1. Taust Sissejuhatus
Vaakumkatteseadmed on omamoodi seadmed, mida kasutatakse laialdaselt tööstustootmisel. Selle peamine funktsioon on panna materjal, mis tuleb katta vaakumkambri kambrisse, ning reaktsiooni kaudu kõrgel temperatuuril ja kõrge vaakumkeskkonnas ladestub kilekiht ühtlaselt materjali pinnale. ja moodustage teatud kattekiht, millel on spetsiaalsed funktsioonid ja omadused. Nende hulgas on kattekihi kvaliteeti mõjutavad olulised näitajad vaakumkraadi ja adhesiooni kiirus ning vaakumkraadi stabiilsus sõltub seadme rõhukontrollist.
2. vaakumkatteseadmete rõhukontrolli põhimõte
1. Vaakumkraadi määratlus
Enne rõhukontrolli põhimõtte tutvustamist on vaja tutvustada, mis on vaakum. Füüsikas viitab vaakum gaasikeskkonnale, mille rõhk on väiksem kui atmosfäärirõhk, seega viitab vaakumi aste gaasirõhule teatud ruumis. Üldiselt mõõdetakse vaakumit tavaliselt Pascalsi (PA) või meetri baaris (MBAR). Vaakumkatteseadmetes on tavaline vaakumivalik 10^-6Pa ~ 10^-2Pa.
2. Survekontrolli põhimõte
Kui vaakum on liiga kõrge või liiga madal, mõjutab see seadmete normaalset toimimist. Seetõttu tuleb teatud meetodi abil kontrollida seadme vaakumitaset. Nende hulgas on rõhukontroll suhteliselt lihtne ja tõhus juhtimismeetod. Täpsemalt, rõhukontrolli põhimõte on rõhukontrolleri kasutamine seadmes gaasi voolukiiruse juhtimiseks, tuvastades kontrollitud otsa rõhu ja seejärel tagasisidemehhanismi kaudu, kontrollides klapi avanemist, et saavutada rõhu kontrollimise eesmärk.
3. rõhukontrolleri põhikompositsioon
Vaakumkatteseadmetes kasutatakse rõhu juhtimiseks tavaliselt rõhu kontrollerit. Selle põhikompositsioon sisaldab nelja osa: tuvastamise andur, kontroller, ajami ja juhtimissüsteem.
Avastusandur: seda kasutatakse peamiselt kontrollitava otsa rõhu muutuse tuvastamiseks ja selle teisendamiseks vastavaks elektrisignaali väljundiks, mida kontroller kasutab.
Kontroller: see võtab peamiselt anduri abil elektrisignaali väljundi, protsesse ja analüüsib seda ning toidab seejärel analüüsi tulemust ajami avanemiskraadi kontrollimiseks.
Team: see kontrollib peamiselt seadme gaasi voolukiirust, kontrollides ventiili avaastet, et saavutada rõhu kontrollimise eesmärk.
Juhtimissüsteem: seda kasutatakse peamiselt seadmete erinevate indikaatorite, näiteks temperatuuri, vaakumkraadi jms jälgimiseks ja kontrollimiseks ning kontrollistrateegiate seeria tegemiseks.
3. Kokkuvõte
Kokkuvõtlikult võib öelda, et vaakumkatteseadmete rõhu kontrolli põhimõte on suhteliselt lihtsa ja tõhusa tagasisidemehhanismi abil seadme rõhu juhtimine. Sellise stabiilse juhtimissüsteemi loomine nõuab seadme juhtimissüsteemi erinevate aspektide tehnilist tuge, näiteks parameetrite seire, juhtimisalgoritm, ajami juhtimine, süsteemiühendus jne. Need tehnilised tegurid nõuavad teatud professionaalsete ja tehniliste töötajate koostööd, et tagada seadmed suurepärast jõudlust.